工业油雾净化器在使用过程中，收集极板上会产生污渍堆积，使高压电场负载加大而产生高压拉弧，净化效果变差甚至完全丧失净化功能。所以，定期检查和清洗是非常重要的维护工作。
1.工业油雾净化器的定期检查
1)检查前置、后置过滤网有无机械损伤或破损，以及被污染物堵塞情况。
2)检查电离和收集器有无机械损伤，油污附着程度以及极板有无变形。
3)检查电离丝有无机械损伤、变形以及被油污包裹的情况。
4)检查电柜门、侧板、风口、后盖等与罩壳连接处的密封是否良好。
5)检查各电器元件是否正常。
6)检查高低压及放电端子有无污渍及损坏。
注意:电离极板电压很高，上述检查均需在机床油雾净化器断电1min，让极板放电结束后才可进行。
2.工业油雾净化器的清洗
机床油雾净化器使用一段时问后，电离和收集器组件及前、后置过滤网上会附着一些油污及污渍，需要对其进行清洗。当产品面板上的清洗灯亮时，说明必须要停机清洗了(产品上粘贴的注意事项的标签也有明确说明)。清洗时常使用一般规格的超声波清洗机，虽然也能去除油性污垢，但不彻底，并且清洗过的地方会造成二次污染，并且不方便。为解决此问题，设计一款专用超声波清洗机，该机由超声波发生器、清洗槽、过滤槽、滤清器、水泵组成。
3.工业油雾净化器的清洗方法
电离和机床油雾净化收集器组件的清洗。将专用铝合金清洗剂<PRIME5003，天津普罗米化工有限公司生产配成的水溶液，加注到超声波清洗机内，水量加到清洗槽、过滤槽深度的2/3处。开启超声波清洗机电源加热，清洗液加热至50-600C；将电离和收集器组件放入清洗槽中，液面没过组件，然后开启超声波发生器进行清洗，清洗时问一般>30min。